青岛海森洁净为您介绍电子无尘车间

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青岛海森洁净为您介绍电子无尘车间

所谓半导体电子洁净车间，是指洁净度在100,000以上的洁净车间，主要根据每立方米空气中所含的0.5微米尘粒计算。根据清洁度的不同，它分为100个级别（小于3.5），1000个级别（小于35），10,000个级别（小于350）和100,000个级别（小于3500）。

在大多数情况下，洁净室操作中的风速越低，过滤器的使用效果越好。

小颗粒的扩散作用（布朗运动）明显，风速低，空气在过滤材料中停留时间更长，粉尘有更多的机会撞到障碍物，因此过滤效率高。经验表明，对于高效过滤器，当风速降低一半时，当风速降低时，灰尘的传输速率将降低近一个数量级（效率值增加9倍）。速度翻倍，传输速率提高了一个数量级（效率降低了9倍）。

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以下是设计电子洁净室时要注意的一些细节。

（1）平面由过程决定。电子工业洁净室的工艺布置应适应电子产品开发的灵活性，并满足产品生产工艺改造和扩大生产的需要。

（2）主体结构应采用大空间，大跨度的柱网，不宜采用内墙支座系统。

（3）大型电子工业洁净车间通常使用上层技术三明治和下层技术三明治的“三明治”多层结构。

（4）应考虑大型生产过程设备的安装和维护要求，并建立不影响清洁生产环境的必要的运输通道和安装或维护端口。

（5）电子无尘车间是按照二级防火等级设计的。

（6）耐火隔墙应与洁净室（区域）分开，以储存和分配特殊气体，且隔墙的耐火极限不得小于1H。有毒硅烷或混合气瓶的存储区域至少在三个侧面敞开。气瓶与周围结构或围栏之间的距离应大于3M，并且在存储区域中设置的遮阳篷应不小于3.5M。

（7）电子行业无尘车间的装饰材料不得使用释放会影响电子设备的物质的材料。

（8）允许使用电子工业洁净室的空气净化室，这不同于一般的生物洁净室。淋浴室应与更衣室相邻，以穿着干净的工作服。单人淋浴房最多可容纳30人。工作人员超过5人时，应有一个侧门。当人数过多或为了缩短通行时间时，也可以设置隧道式淋浴房。

（9）对于高级无尘车间，为了尽量不影响气流的单向性和平行性，照明灯具应使用纯净的水滴形灯具。

（10）电子无尘车间经常需要根据生产过程的要求建立一个防静电环境，以抑制静电的产生，并迅速安全地消除所产生的静电。

（11）电子无尘车间对防止微振动有特殊要求，在工厂环境中应避免振动源。

（12）除了电子无尘车间的一般给水和排水要求外，还有非常大规格的集成电路用水的标准。